光刻工序堪称整个制程的灵魂,对环境的稳定性和避震要求极其苛刻。
为确保最佳性能,光刻机被安置在一楼。
这栋楼的二楼也是芯片生产车间,一楼与二楼的生产线用传送带连接。
三楼是库房,四楼则是办公区域和实验区域。
一层楼建造面积高达2万平方米,算上二楼,可以布置4条芯片生产线,每条生产线包括5台EBL光刻机。
一台EBL光刻机占地面积只有10平方米而已,但配套设备和自动化生产线就占空间,还要考虑设备间隔、洁净室面积、工艺流程布局、通道、安全区域等,构成了一个庞大而精密的制造生态系统。
这套布局与苔积电等世界顶级半导体制造商的厂区设计有些类似,每条生产线的平均占地面积也相差不大。
按照公司一期月产10万片晶圆,还需要一栋这样的大楼才能满足10条生产线布局。
当然,如果还要扩产,公司还有许多闲置的大楼足够布局。
未来科技集团不缺钱,更不缺地,空间设计得宽阔一点也好。
“郝先生,请问一下,这是什么设备?”韦宏好奇地指着眼前的高大设备问道,声音中带着一丝不确定。
上面有未来科技集团的LOGO,设备型号“EBL001”。
众人是真看不懂这是什么设备,的确没有见过,但从外观看来,是一台高精密高端设备。
郝强嘴角微扬,目光平静地扫过在场所有人的表情,然后不疾不徐地回答:“这就是光刻机。”
此话一出,仿佛在平静的湖面投下了一颗重磅炸弹。
韦宏瞪大了眼睛,瞳孔中闪烁着难以置信的光芒,声音因激动而略微颤抖:“这是光刻机?
你们真的拥有光刻机!?”
他环顾四周,呼吸急促,“我数了数,算上这台,现场相同的设备,我看了下,都有3台了吧?”
车间实在太大,他也看不清楚,实际共有5台样机。
其他领导的反应也不遑多让。
他们的表情从震惊到困惑,再到欣喜,情绪的变化如同五彩缤纷的烟花在脸上绽放。
郝强看着众人的反应,嘴角的笑意更深了。
他不紧不慢地补充道:“准确地说,这是EBL光刻机,与EUV光刻机和DUV光刻机不同,它更加高端,工艺制程可以达到几纳米级别。”
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他顿了顿,谦逊地补充,“不过,我们目前只能制造出14nm的芯片。
但不管怎么样,这家伙也比世界最顶尖的光刻机更加先进。”
“你们已经能生产芯片了?”韦宏再次惊呼,声音中充满了不可思议,“连EDA软件的难题也解决了?”
郝强自信地点点头:“当然,能够攻克EBL光刻机这样的技术难关,解决EDA自然也在我们的能力范围之内。”
现场一片寂静,随后爆发出一阵惊叹声。