“要不年后吧,再处处”。
“别,就年前,这个姑娘我知道底细,家里从上到下都是实在人。
邻居们的评价也很高,很少和人红过脸。
姑娘刚毕业不久,在单位里人缘也好。
身段好,屁股大,来年就能抱上大胖小子”。
王主任开心的笑了,好像这门亲事是她自家的。
“那个,我也不懂,您看这。。。”,李元直到躲不过,就提出他的那题。
王主任想想也是,“行了,我就当你长辈,没有问题吧?”
“求之不得”。
“那行,结婚的事,我替你张罗了,你就等着领证、接人、入洞房吧”。
王主任风风火火地走了。
李元看着她的背影,感觉他的青春也被她带走。
回到实验室,李元暂时放下这件事,把精力再次投入到工作中。
下一步就是晶圆氧化工序,这一步,李元要亲自上手。
首先,便是带着大家研究清洗液,目前最好获得的是酸、碱和酒精溶液。
三种溶液都能很好地去除晶圆表面的各种污染物,问题是都会对晶圆表面造成一定的腐蚀,影响后续工序。
通过反复实验和对比,选用了无水乙醇,相比上述两种,清洗强度差点,但是目前已经足够用。
清洗后,还需要一道清洗酒精的工序,直接使用蒸馏水冲洗。
然后直接放入氧化炉,开始氧化。
在技能书中提到了氧化的方法,共有两种:干法氧化和湿法氧化。
干法氧化,纯氧产生二氧化硅层,速度慢但氧化层薄而致密。
湿法氧化需同时使用氧气和高溶解度的水蒸气,其特点是生长速度快但保护层相对较厚且密度较低。
以当前的工艺,最多加工精度保持在毫米级,干法氧化意义不大。
故而选择相对经济实惠的湿法氧化。