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第229章 光刻机（第3页）

原因在于，粤州晶圆厂的生产方式和扬子江电子厂有很大不同。

一直以来，扬子江电子厂采用的是光刻流水线方式，而非后世常用的光刻机。

因为光刻机是一种高度精密、高度集成的装备，不是那么容易造出来的。

当初，周博在7号车间土法上马，根本不具备造光刻机的条件。

周博只好因陋就简，把光刻机的效能，分拆开来，做出一条光刻流水线。

这种方式也能造出芯片，但效率偏低，而且产线迁移非常困难。

现在，粤州晶圆厂要进行规模化生产，当然不能再搞作坊式的流水线，光刻机势在必行了。

第一台GK-1光刻机，在扬子江电子厂制造完成，然后用火车运过来的。

GK-1既不是后世常说的dUV，更不是EUV。

那都是浸润式光刻机，目前还是周博难以企及的黑科技。

GK-1属于干式光刻机，分辨率1微米，套刻后精度可达200纳米。

这个精度虽然和dUV，EUV没法比，但已经相当牛掰。

要知道，后世的dUV，EUV都是集几十个国家之力，才搞出高精尖设备。

夏国被制裁后，也是集全国智慧，才能搞出落后几代的光刻机。

可见光刻机的制造难度！

而GK-1基本是周博和姜明尚手搓出来的。

这实在是相当逆天。

GK-1完成后，姜明尚激动得几天睡不着觉。

有了GK-1光刻机，芯片生产不仅效率提高数倍。

而且，光刻机方便迁移，可以快速复制和扩散产能。

要实现一五计划年产千万芯片的目标，GK-1是关键一环。

进入厂区后，工人们纷纷向姜明尚打着招呼。

姜明尚微笑回应。

很快，两人来到了晶圆切割车间。